頂立科技立式化學氣相沉積爐（碳化硅） 

概述：立式化學氣相沉積爐可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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刷新時間：
2022-11-07 16:43:15 點擊63861次
服務區(qū)域：
全國
聯(lián)系電話：
18874256050
信用：4.0  隱性收費：4.0
描述：4.0  產品質量：4.0
物流：4.0  服務態(tài)度：4.0
默認4分 我要打分
技術特征

采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍��；

采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 

對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理；

采用最新設計防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低。




立式化學氣相沉積爐（碳化硅）配置選擇

爐門：絲杠升降/液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊  

爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產 

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/B分度號  

記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產


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