頂立科技臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭） 

概述：化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
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刷新時間：
2022-11-07 16:43:06 點(diǎn)擊59944次
標(biāo)簽：
進(jìn)口國產(chǎn)
服務(wù)區(qū)域：
全國
聯(lián)系電話：
18874256050
信用：4.0  隱性收費(fèi)：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務(wù)態(tài)度：4.0
默認(rèn)4分 我要打分
臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）技術(shù)特征

可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)尺寸，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；

采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。


臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號 HCVD-060609-C HCVD-080812-C HCVD-101015-C HCVD-121225-C HCVD-151530-C
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） 600×600×900 800×800×1200 1000×1000×1500 1200×1200×2500 1500×1500×3000
最高溫度（℃） 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性（℃） ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
極限真空度（Pa） 50 50 50 50 50
壓升率（Pa/h） 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）配置選擇

爐門：鉸鏈回轉(zhuǎn)式/臺車平移式；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動閥/自動閥；進(jìn)口/國產(chǎn)    

真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國產(chǎn) 

人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)     

PLC：歐姆龍/西門子

控溫儀表：日本島電/英國歐陸   

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)   

電器元件：正泰/施耐德/西門子

料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車


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