多級脈沖電源 

概述： 該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式�？勺远x配置脈沖信號，響應(yīng)速度快，信號質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。 應(yīng)用特征

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2025-04-25 13:59:47 點(diǎn)擊6227次
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18610611799
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描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
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該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式�？勺远x配置脈沖信號，響應(yīng)速度快，信號質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。


應(yīng)用特征

該電源主要應(yīng)用對象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。

多級脈沖電源
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