伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
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比例閥采用閥芯閥體結(jié)構(gòu)。伺服閥和伺服比例閥主要應(yīng)用在閉環(huán)控制系統(tǒng)，比例閥的驅(qū)動(dòng)裝置是比例電磁鐵。
伺服閥的驅(qū)動(dòng)裝置是力馬達(dá)或力矩馬達(dá).閥體兼作閥套。
驅(qū)動(dòng)裝置不同.所以近些年出現(xiàn)了比例
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運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)：四軸（雙Z軸機(jī)型為六軸） 全閉環(huán)控制：三軸交流伺服馬達(dá)全閉回路控制，預(yù)壓線性滑軌與研磨級(jí)滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)，步進(jìn)馬達(dá)同軸控制鏡頭組（雙Z軸機(jī)型：影像系統(tǒng)伺服馬達(dá)控制， 探針系統(tǒng)伺服馬達(dá)
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